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超净高纯试剂
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AG亚游国际app目录
Product catalog
超净高纯试剂广泛应用于太阳能光伏行业、液晶显示、电子元器件、半导体行业制程的清洗或蚀刻
品名
分子式
纯度级别
UP-SS
UP-S
UP
EL
过氧化氢
H202
√
√
√
√
盐酸
HCI
√
硫酸
H2S04
√
√
√
硝酸
Hn03
√
氢氟酸
HF
√
氨水
NH3,H20
√
醋酸
C2H402
√
氢氧化钠
Na0H
√
氢氧化钾
K0H
√
其他高纯试剂
按照客户要求研发生产
AG亚游国际app标准
Product standard
超净高纯电子化学品标准规格
EI级
UP级
UP
-S
级
UP-SS级
中小规模集成电路及电子元件加工工艺
0.8
微米以上集成电路及
TFT-LCD
制造工艺
0.2-0.8
微米集成电路加工工艺
0.18-0.09
微米线宽集成电路加工工艺
控制
1
微米粒径粒子
经过
0.2
微米孔径过滤器过滤,控制
0.5
微米粒子
经过0.05微米孔径过滤器过滤,控制0.2微米粒子
经过
0.05
微米孔径过滤器过滤,控制
0.2
微米粒子
金属杂质含量小于
100ppb
金属杂质含量小于
10ppb
金属杂质含量小于
1ppb
单项金属离子杂质含量≤
0.1ppb
达到
SEMI C1 C2
标准
在
100
级净化环境中灌装,达到
SEMIC7
标准
在
100
级净化环境中灌装,达到
SEMIC8
标准
在
100
级净化环境中灌装,达到
SEMIGrade4
标准
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